Allouache, Samir2021-06-022021-06-022013-06-25http://10.10.1.6:4000/handle/123456789/471Dans notre travail, nous présentons les notions de diffusion et de réaction chimique à l’état solide dans les systèmes à couches minces binaires M1/Si et ternaires M1/M2/Si. Nous formulons les principes des techniques de caractérisation utilisées : à savoir la rétrodiffusion de particules alpha (RBS) et la caractérisation électrique courant-tension I(V). Et enfin on obtient des résultats expérimentaux et leur interprétation.frdiffusion, couche mince, RBS, I(V).