L'effet de recuit thermique sur les propriétés physico-chimique et électrique des systemes Cu/Au /Si (111) et Cu/Au/Si (100)

Abstract

Dans notre travail, nous présentons les notions de diffusion et de réaction chimique à l’état solide dans les systèmes à couches minces binaires M1/Si et ternaires M1/M2/Si. Nous formulons les principes des techniques de caractérisation utilisées : à savoir la rétrodiffusion de particules alpha (RBS) et la caractérisation électrique courant-tension I(V). Et enfin on obtient des résultats expérimentaux et leur interprétation.