Etude des transferts d’énergie sous bombardement ionique dans le Germanium

Abstract

Le but de ce travail est d’étudier les pertes d’énergie sous bombardement ionique dans le Germanium. Le programme SRIM permet la détermination de diverses grandeurs de l’étude des moments des diverses distribution (des ions implantes, des phonons) et du taux d’érosion en fonction des différents paramètres (énergie, masse de lion et angle d’incidence). Les résultats obtenus par implantation d’ions de B,O ,Si ,Ge ,Xe et Bi d’énergie variant de 5 à 200 keV dans le Germanium sont présentes et discutes dans ce mémoire.