L’effet de recuit thermique sur les propriétés physico-chimiques et électriques des systèmes Cu/Au/Si(111) et Cu/Au/Si(100)
Date
2013
Authors
Allouache, Samir
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Faculté des Sciences et Technologies
Abstract
Résumé
Dans notre travail, nous présentons les notions de diffusion et de réaction chimique à l’état solide dans les systèmes à couches minces binaires M1/Si et ternaires M1/M2/Si. Nous formulons les principes des techniques de caractérisation utilisées : à savoir la rétrodiffusion de particules alpha (RBS) et la caractérisation électrique courant-tension I(V). Et enfin on obtient des résultats expérimentaux et leur interprétation.
Description
Keywords
diffusion, couche mince, RBS, I(V).